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Compressor技術資料庫

    Helium Compressor 為什麼要保養 ?

1. CTI 8200 or small helium compressor :
             每年(平均 8000 h)需要更換ADSORBERS 
    CTI 8500/8510 9600 ULVACC20/30V/MV:

              平均二~三年需要更換ADSORBERS

2. Cryo pump(displace seals 磨擦產生粉削) 和Compress Oil Pump(rotary or scroll式)於運轉時會產生磨耗(像汽車引擎),於長時間運轉後會使oil 變質污染造成下列影響:
       

           a.  污染後的油(氣)流經管路、閥路造成內部污染 
        b.  污染後的油(氣)流經oil miss filter過濾後殘留於filter內 
        c.  oil miss filter 污染後 慢性擴散至adsorber 造成adsorber 壽命縮短,甚至影響
                cryo pump 效率(氣不純) 
           d.  oil 消耗 oil miss filter過濾油氣後,還有少量油氣會到達adsorber而被阻擋吸
                附(若水冷或其他條件異常時會有更多油氣被吸附,更換adsorber約2~3次後
                Compressor Oil 會少於安全量,oil 不足時會造成Compressor損壞


3. 管件、接頭損耗漏氣造成ΔP不正確影響cryo pump 效率(溫度不良)

4. 冷卻水管管路,阻塞、氧化、銹蝕,皆會造成Helium Compressor 運轉異常
    (溫度過高或漏氣 or 漏水)

5. 確保Helium Compressor正常運轉,且保護cryo pump 不被污染,
    進而cost down。

5N5 Helium spectra

Compressor helium spectra





【重要資訊】 
       
What's the Compressor Helium flow  ?        
Helium flow 不足 & CRYO PUMP  ?                                     
Helium flow  >12.5 SCFM        
Helium flow  >43 SCFM        
Helium flow  >60 SCFM       
 

       

HELIX CTI Compressor: CTI 8200/8500/8510/ 9600/ 9700A ???       
ULVAC Compressor: C10/ C30V/C30MVR ???       
OXFORD-Austin ASC Compressor: 250/450/ M600 ???       
LEYBOLD CRYO STATION ???

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